AZO靶材即為氧化鋅鋁靶材,以氧化鋅為主,摻雜氧化鋁,是一種N型半導體材料,AZO靶材的燒結(jié)通常采用常壓燒結(jié)、熱壓燒結(jié)及氣氛燒結(jié)方法,常壓燒結(jié)是最常用的燒結(jié)手段;常用的成型方法有干壓成型、冷等靜壓成型等。
AZO旋轉(zhuǎn)靶采用冷壓燒結(jié)工藝,綁定在背管上制得,尺寸可根據(jù)客戶要求定制。
AZO平面靶采用注漿燒結(jié)工藝,澆鑄在背板上制得,尺寸可根據(jù)客戶要求定制。
應(yīng)用領(lǐng)域:顯示屏及觸摸屏配線及其保護膜,太陽能光吸收層、半導體配線,裝飾鍍膜等行業(yè)。
純度:99.95%、99.99%;電阻率(20°C):≤1x10ˉ3Ω?cm 。
常用比例:ZnO:Al2O3=98:2(wt%)。
應(yīng)用領(lǐng)域:薄膜太陽能電池的電極、透明導電玻璃與柔性膜、等離子顯示、紅外反射與防護等領(lǐng)域。
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